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電子行業(yè)主要包括電子技術(shù)、半導(dǎo)體、多晶硅/單晶硅、太陽能和光電顯示領(lǐng)域，其中電子行業(yè)的真空應(yīng)用可以分為三大類：生產(chǎn)用真空（中高真空）、清掃真空 （粗真空）、工藝真空 （粗真空），一個典型的半導(dǎo)體工廠里就需要上述三種真空，分別需要不同的真空泵。